TOPIX

  • その他
  • その他の対象物

0042_【開発中】厚さ測定センサ

0037_【開発中】厚さ測定センサ” で紹介しました開発中の厚さ測定センサの続報です。

試作品が完成しましたのでご報告いたします。

<特長>

装置内で原点(0μm)キャリブレーションが可能です。

筐体サイズはW100×D120×H200(mm)と非常にコンパクト。置き場所を選びません。

厚さ測定センサ_オートコリメータ

厚さ測定センサ_試作実機写真

 

 

 

 

 

 

 

 

詳しくは下記資料をご参照ください。

【●厚さ測定センサ資料

ご興味ございましたら下記よりお問い合わせくださいますようお願いいたします。

  • 収差
  • その他の対象物

0041_【開発中】収差チェッカ

当社で現在開発中の透過波面収差干渉計をご紹介いたします。

収差チェッカ

この装置は

・従来機器では測定できなかった、非合焦レンズ、組レンズ等の収差測定が直接可能です。

・組立の工程やレンズのブロックごとの測定が可能です。

→良品だけを次工程に流すことが可能です。

・高精度な参照球面やコンバージョンレンズ等は必要ありません。

詳しくは下記資料をご参照ください。

【●収差チェッカ資料

ご興味ございましたら下記よりお問い合わせいただけますようお願いいたします。

  • 角度
  • カメラ
  • モータ
  • その他の対象物
  • 半導体

0040_【開発中】ロングWDチルトセンサ

当社が開発中のオートコリメータは、作動距離(WD)が1,000mm±150mmという優れた性能を有し、先進的な技術を駆使した製品です。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

光学系と信号処理部分の一体化により、この単一ソリューションでチルト(ΘX、ΘY)の同時高速測定(1,600回/秒)が可能となっています。
特筆すべきは、その長大な作動距離により、設置される装置の床面や天井に設置して対象物を検出することが可能な点です。この特性により、半導体ウェーハやハンドラーの角度をリアルタイムで監視し、製造プロセスの制御に重要な情報を提供します。

当社のオートコリメータは、高度な作動距離と同時に高速で精密な測定が可能なことから、半導体製造設備などの分野で信頼性の高いツールとして注目されています。また本ソリューションは設置も簡単にできる様考慮されております。

詳しくはこちらの動画をご覧ください。

合わせて下記資料もご参照ください。

【●ロングWDチルトセンサ資料】

アプリケーション事例も掲載しております。

【●半導体業界事例集】

 

  • 角度・変位
  • その他
  • カメラ
  • その他の対象物
  • 半導体

0039_【発売予定】光学系と信号処理部を一体化した変位チルトセンサ

当社が誇る最新の変位チルトセンサは、先端技術の結晶として注目されています。

この製品は、光学系と信号処理部分の完全な一体化により、卓越した性能を誇ります。驚くべき特長の一つは、高速かつ同時にチルト(ΘX,ΘY)変位(Z)を測定できる点です。
1,000回/秒という圧倒的な速度で、データのリアルタイム取得が可能です。

この変位チルトセンサは、産業界において革新的な進展をもたらすことでしょう。統合された技術により、単一のデバイスで3軸の計測を可能にし、生産性と精度を向上させます。
その高速測定は、プロセスのダウンタイムを最小限に抑え、効率的な運用をサポートします。

当社の新製品は、産業界における計測の新たな基準を確立する存在です。この製品を用いることで、革新的なデータ処理と同時に、高速かつ正確な変位とチルトの測定を実現します。

詳しくは下記資料をご参照ください。

【●一体型変位チルトセンサ資料】

アプリケーション事例も掲載しておりますので、ご参照ください。

【●半導体業界事例集】

  • 角度
  • カメラ
  • モータ
  • その他の対象物
  • 半導体

0038_【発売予定】光学系と信号処理部を一体化したチルトセンサ(オートコリメータ)

オートコリメータ
本製品は信号処理部を筐体にした一体型光学センサです。測定値が光学センサ本体から出力されるため、場所も取らず設備設置への組込自由度が広がります。

例えば半導体ウェーハのハンドリング時のクラッシュ防止やウェーハの反りを監視すること等が可能となります。

従来の一体型チルトセンサ(KT-8000)と比較して今回開発した製品は小型に成功、測定スピードも1,600回/秒と高速測定を達成しました。

詳しくは下記資料をご参照ください。

【●一体型チルトセンサ資料】

当開発製品のほかにも半導体に関する検査装置、測定装置を多数開発中でございます。

アプリケーション事例を掲載しておりますので、ご参照ください。

【●半導体業界事例集】

  • その他
  • その他の対象物
  • 半導体

0037_【開発中】厚さ測定センサ

厚さ測定センサを開発中です。
当製品は非接触測定の革命。ガラスや平行平板、半導体ウェーハの厚み測定、薄膜レジストやパターニングに用いられるフィルム、光感応性のフィルム、透明導電性フィルムやバリアフィルムなどの厚みを素早く正確に把握し製造プロセスに革新を起こします。

手間いらずでエラーなく厚み測定が可能。これが未来の生産性向上の鍵となります。最新テクノロジーを駆使した当センサは従来の接触式のマイクロメーターなどとは一線を画します。製造ラインの効率を最大化し、品質管理を徹底化します。

 

●厚さ測定センサの資料は
こちら↓

【●厚さ測定センサ資料】

進化する市場において、即座な情報収集が競争力を決める。当製品はその最前線に立ち、データドリブンな未来への扉を開きます。デジタルトランスフォーメーションの時代、素材の微細な変化を見逃すことなく、生産プロセスを最適化。製品の持つ高い精度と効率が今こそ求められています。

未来の技術を手に入れるなら、非接触での厚み測定が不可欠。新しい基準を確立し、競争に差をつけるならこの厚さ測定センサが頼れるパートナーとなることでしょう。革新と生産性向上の両立を実現いたします。

現在鋭意開発中ですが、製品にご興味がおありでしたら下記よりご連絡ください。

  • 角度
  • 角度・変位
  • その他
  • その他の対象物
  • 位置
  • 半導体

0036_半導体業界事例集

超小型チルトセンサなどの光学傾斜センサでの半導体業界向けの
事例集をご紹介いたします。

オートコリメータ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

●半導体事例集の資料は
こちら↓

【●半導体業界事例集】

事例内容に限らず、半導体製造工程で測定や、検査のテーマをお持ちの
お客様がいらっしゃいましたら一度コンタクトしていただけると幸いです。

下記からご連絡お待ちいたしております。

  • 角度
  • カメラ
  • モータ
  • その他の対象物
  • 半導体

0035_オートコリメータ_手のひらサイズの大きな革命

オートコリメータは、光学機器の一種であり、主に光学系の調整や評価に利用される重要な装置です。
光学系の精密な調整や位置決めを行う際に必要とされる計測機器であり、高い精度を持って光学系の
特性を評価する役割を果たします。

この装置は、光学系の光軸や光路を正確に測定し、調整することで、望んだ条件下で光学系を適切に
機能させることが可能となります。特に、レンズや鏡などの光学素子の位置や角度を正確に調整する
ことで、光学系全体の性能を最適化することができます。

オートコリメータは古くから業界で標準とされてきた製品があります。
この製品は低輝度のハロゲンランプを使ったものでした。光源が低輝度のため、
装置に多くの光を取り込むには大口径なレンズが必要になります。
そのため、装置は巨大で重量なものとなります。

オートコリメータ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

当社のオートコリメータ(製品名:超小型チルトセンサ。型式:TM-2070))は高輝度の
レーザーダイオードを採用しているため、搭載しているレンズも小径で済みます。
また、従来のオートコリメータでは対応できなかった低反射の物、微小な物の測定も
可能になっております。

さらに、人の目に代わり、光をCMOSカメラで受光することにより、画像処理が可能となり、
測定データは数値で管理が可能です。

レーザオートコリメータ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

オートコリメータといえば巨大で重量のある装置のイメージをお持ちの方がいらっしゃいましたら
ぜひ一度当社の超小型チルトセンサ、TM-2070をご確認いただければと思います。

デモ機のご用意もございます。詳しくは下記からお問い合わせください。

  • 角度
  • その他
  • その他の対象物
  • 半導体

0034_チルトセンサ(オートコリメータ)_長作動距離測定

当社のチルトセンサ(オートコリメータ)はサイズを小型化していることが特徴です。
作動距離(WD:ワーキングディスタンス)は0~250mm(φ1deg時)となっております。

お客様の中には、超小型チルトセンサ(オートコリメータ)を軸出し用途で500mm程度の
長距離でご使用いただいている事例もございます。

他にも作動距離が長い物をご希望されるお客様のお声をいただくことが増えているため、
作動距離:1000mm以上、測定範囲:φ1deg(±30min、円形範囲)
Repeatability(分解能):1min程度の物を現在開発しております。

チルトセンサ'(オートコリメータ)_長距離測定

 

測定対象物から離れた場所に設置する必要があるなどで長作動距離測定に
ご興味がございましたら下記よりお問合わせください。

0033_超小型チルトセンサ(オートコリメータ)_波長の最適化

検出したい対象物の中には赤色の波長はすべて透過してしまい、反射光が得られないもの、
特定の波長の光のみ反射するものなど様々な波長特性をもったものがあります。

この場合、赤色波長以外のレーザーを用いることで測定が可能になる場合があります。

カスタム対応にて超小型チルトセンサ(オートコリメータ)に搭載するレーザー波長を
異なるものでご用意することも可能です。

超小型チルトセンサ(オートコリメータ)波長カスタム対応

波長特性のある対象物でTM-2070でうまく測定できないケースなどございましたら
下記よりお問合わせください。