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0042_【New】厚さ測定センサ

0037_【New】厚さ測定センサで紹介しました開発中の厚さ測定センサの続報です。
デモ機が完成しましたのでご報告いたします。

<特長>

センサー内で原点(厚さ0μm)キャリブレーションが可能。
筐体サイズはW100×D120×H200(mm)と非常にコンパクト。
置き場所を選びません。

厚さ測定センサ_オートコリメータ

厚さ測定センサ_試作実機写真

 

 

 

 

 

 

 

 

詳しくは下記資料をご参照ください。

【●厚さ測定センサ資料

ご興味ございましたら下記よりお問い合わせくださいますようお願いいたします。

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0041_【New】収差チェッカ

透過波面収差干渉計を開発、デモ機を作製しました。

この装置は

・従来機器では測定できなかった、非合焦レンズ、群レンズ等の収差測定が直接可能です。

・レンズ製造工程において、組立途中の半完成レンズや群レンズの測定が可能です。

  →歩留まり改善、効率的な製造ライン運用に貢献します。

・測定に高精度な参照球面やコンバージョンレンズ等は必要ありません。

詳しくは下記資料をご参照ください。

【●収差チェッカ資料

ご興味ございましたら下記よりお問い合わせいただけますようお願いいたします。

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  • その他の対象物
  • 半導体

0040_【New】ロングWDチルトセンサ

本製品は作動距離(WD)が1,000mm±150mmという優れた性能を有したレーザーオートコリメータです。
(また、最大10mのワーキングディスタンスの製品のご紹介も可能です。)

光学系と信号処理部分の一体化により、この単一ソリューションでチルト(ΘX、ΘY)の同時高速測定(1,600回/秒)が可能となっています。
特筆すべきは、その長大な作動距離により、設置される装置の床面や天井に設置して角度測定が可能な点です。この特性により、装置内への設置はもちろん長距離移動機構、長距離センシングデバイスの評価装置の検査、調整が可能です。

また本ソリューションは設置も簡単にできる様考慮されております。

詳しくはこちらの動画をご覧ください。

合わせて下記資料もご参照ください。

【●ロングWDチルトセンサ資料】

アプリケーション事例も掲載しております。

【●半導体業界事例集】

 

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0039_【New】光学系と信号処理部を一体化した変位チルトセンサ

当社が誇る最新の変位チルトセンサは、先端技術の結晶として注目されています。

この製品は、光学系と信号処理部分の完全な一体化により、卓越した性能を誇ります。驚くべき特長の一つは、高速かつ同時にチルト(ΘX,ΘY)変位(Z)を測定できる点です。
1,000回/秒という圧倒的な速度で、データのリアルタイム取得が可能です。

この変位チルトセンサは、産業界において革新的な進展をもたらすことでしょう。統合された技術により、単一のデバイスで3軸の計測を可能にし、生産性と精度を向上させます。
その高速測定は、プロセスのダウンタイムを最小限に抑え、効率的な運用をサポートします。

詳しくは下記資料をご参照ください。

【●一体型変位チルトセンサ資料】

アプリケーション事例も掲載しておりますので、ご参照ください。

【●半導体業界事例集】

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0038_【New】光学系と信号処理部を一体化したチルトセンサ(オートコリメータ)

オートコリメータ
本製品は信号処理部を筐体に内蔵した一体型光学センサです。測定値が光学センサ本体から出力されるため、場所も取らず設備設置の自由度が広がります。

例えば半導体ウェーハのハンドリング時のクラッシュ防止やウェーハの反りを監視すること等が可能となります。

従来の一体型チルトセンサと比較して今回開発した製品は小型化に成功、測定スピードも1,600回/秒と高速測定を達成しました。

詳しくは下記資料をご参照ください。

【●一体型チルトセンサ資料】

当開発製品のほかにも半導体に関する検査装置、測定装置を多数開発中でございます。

アプリケーション事例を掲載しておりますので、ご参照ください。

【●半導体業界事例集】

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0037_【New】厚さ測定センサ

厚さ測定センサのデモ機が完成しました。
当製品は非接触測定の革命。ガラスや平行平板、半導体ウェーハの厚み測定、薄膜レジストやパターニングに用いられるフィルム、光感応性のフィルム、透明導電性フィルムやバリアフィルムなどの厚みを素早く正確に把握し製造プロセスに革新を起こします。

簡単操作でエラーなく厚み測定が可能。最新テクノロジーを駆使した当センサは従来の接触式のマイクロメーターなどとは一線を画します。製造ラインや研究開発の効率を最大化し、品質管理を徹底化します。

 

●厚さ測定センサの資料は
こちら↓

【●厚さ測定センサ資料】

製品にご興味がおありでしたら下記よりご連絡ください。

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0036_半導体業界事例集

超小型チルトセンサ(レーザーオートコリメータ)などの光学傾斜センサでの半導体業界向けの
事例集をご紹介いたします。

オートコリメータ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

●半導体事例集の資料は
こちら↓

【●半導体業界事例集】

事例内容に限らず、半導体製造工程で測定や、検査のテーマをお持ちの
お客様がいらっしゃいましたらお気軽にお問合わせください。

下記からご連絡お待ちいたしております。

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0035_オートコリメータ_手のひらサイズの大きな革命

オートコリメータは、光学機器の一種であり、主に光学系の調整や評価に利用可能なソリューションです。

このソリューションは、光学系の光軸や光路を正確に測定、調整することで、光学機器の最適化が可能となります。
機能させることが可能となります。特に、レンズやミラーなどの光学素子の位置や角度を正確に調整する
為に使われます。

オートコリメータは古くから光学業界で使われてきました。この製品は低輝度のハロゲンランプを使ったものでした。光源が低輝度のため装置に多くの光を取り込むには大口径なレンズが必要になります。そのため、装置は巨大で重量なものでした。
当社では光源に半導体レーザを、受光部に半導体センサを搭載することで小型、高感度、高速なオートコリメータを実現しました。

オートコリメータ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

当社のオートコリメータ(製品名:超小型チルトセンサ。型式:TM-2070))は高輝度の
レーザーダイオードを採用し、小型の光学部品を採用しました。
従来のオートコリメータでは対応できなかった低反射の物、微小な物の測定も
可能になっております。

さらに、CMOSカメラで受光することにより、画像処理が可能となり、
測定データの数値管理が可能です。

レーザオートコリメータ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

オートコリメータが大きい、重いというイメージを払拭してください。
当社の超小型チルトセンサTM-2070をお試しください。
デモ機を準備してご連絡をお待ちしております。
詳しくは下記からお問い合わせください。

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0034_チルトセンサ(レーザーオートコリメータ)_長作動距離測定

当社の超小型チルトセンサ(レーザ-オートコリメータ)はサイズを極限まで小型化してことが特徴です。
通常の作動距離(WD:ワーキングディスタンス)は0~110mm(±70分の範囲)となっております。

しかし110mmを超えるWDでもご使用いただける場合がございます。光軸出しなどの用途では500mm以上の
長作動距離でご使用いただいている事例もございます。

さらに作動距離が長い製品のご要望にお応えするためにロングWDチルトセンサ(オートコリメータ)も
作製しました。

チルトセンサ'(オートコリメータ)_長距離測定

 

離れた場所から測定する必要があるなどで長作動距離測定に
ご興味がございましたら下記よりお問合わせください。

0033_超小型チルトセンサ(オートコリメータ)_波長の最適化

当社では内蔵する半導体レーザーの波長を変更したチルトセンサ(レーザーオートコリメータ)も取り扱っています。
特定波長でしか反射しないもしくは透過しない測定物を測定する際に非常に有用です。

超小型チルトセンサ(オートコリメータ)波長カスタム対応

波長特性のある対象物でTM-2070でうまく測定できないケースなどございましたら
下記よりお問合わせください。