0040_【開発中】ロングWDチルトセンサ0040_%E3%80%90%E9%96%8B%E7%99%BA%E4%B8%AD%E3%80%91%E3%83%AD%E3%83%B3%E3%82%B0WD%E3%83%81%E3%83%AB%E3%83%88%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%B5

当社が開発中のオートコリメータは、作動距離(WD)が1,000mm±150mmという優れた性能を有し、先進的な技術を駆使した製品です。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

光学系と信号処理部分の一体化により、この単一ソリューションでチルト(ΘX、ΘY)の同時高速測定(1,600回/秒)が可能となっています。
特筆すべきは、その長大な作動距離により、設置される装置の床面や天井に設置して対象物を検出することが可能な点です。この特性により、半導体ウェーハやハンドラーの角度をリアルタイムで監視し、製造プロセスの制御に重要な情報を提供します。

当社のオートコリメータは、高度な作動距離と同時に高速で精密な測定が可能なことから、半導体製造設備などの分野で信頼性の高いツールとして注目されています。また本ソリューションは設置も簡単にできる様考慮されております。

詳しくはこちらの動画をご覧ください。

合わせて下記資料もご参照ください。

【●ロングWDチルトセンサ資料】

アプリケーション事例も掲載しております。

【●半導体業界事例集】

 

オートコリメータ
本製品は信号処理部を筐体にした一体型光学センサです。測定値が光学センサ本体から出力されるため、場所も取らず設備設置への組込自由度が広がります。

例えば半導体ウェーハのハンドリング時のクラッシュ防止やウェーハの反りを監視すること等が可能となります。

従来の一体型チルトセンサ(KT-8000)と比較して今回開発した製品は小型に成功、測定スピードも1,600回/秒と高速測定を達成しました。

詳しくは下記資料をご参照ください。

【●一体型チルトセンサ資料】

当開発製品のほかにも半導体に関する検査装置、測定装置を多数開発中でございます。

アプリケーション事例を掲載しておりますので、ご参照ください。

【●半導体業界事例集】

超小型チルトセンサなどの光学傾斜センサでの半導体業界向けの
事例集をご紹介いたします。

オートコリメータ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

●半導体事例集の資料は
こちら↓

【●半導体業界事例集】

事例内容に限らず、半導体製造工程で測定や、検査のテーマをお持ちの
お客様がいらっしゃいましたら一度コンタクトしていただけると幸いです。

下記からご連絡お待ちいたしております。

オートコリメータは、光学機器の一種であり、主に光学系の調整や評価に利用される重要な装置です。
光学系の精密な調整や位置決めを行う際に必要とされる計測機器であり、高い精度を持って光学系の
特性を評価する役割を果たします。

この装置は、光学系の光軸や光路を正確に測定し、調整することで、望んだ条件下で光学系を適切に
機能させることが可能となります。特に、レンズや鏡などの光学素子の位置や角度を正確に調整する
ことで、光学系全体の性能を最適化することができます。

オートコリメータは古くから業界で標準とされてきた製品があります。
この製品は低輝度のハロゲンランプを使ったものでした。光源が低輝度のため、
装置に多くの光を取り込むには大口径なレンズが必要になります。
そのため、装置は巨大で重量なものとなります。

オートコリメータ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

当社のオートコリメータ(製品名:超小型チルトセンサ。型式:TM-2070))は高輝度の
レーザーダイオードを採用しているため、搭載しているレンズも小径で済みます。
また、従来のオートコリメータでは対応できなかった低反射の物、微小な物の測定も
可能になっております。

さらに、人の目に代わり、光をCMOSカメラで受光することにより、画像処理が可能となり、
測定データは数値で管理が可能です。

レーザオートコリメータ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

オートコリメータといえば巨大で重量のある装置のイメージをお持ちの方がいらっしゃいましたら
ぜひ一度当社の超小型チルトセンサ、TM-2070をご確認いただければと思います。

デモ機のご用意もございます。詳しくは下記からお問い合わせください。

当社のチルトセンサ(オートコリメータ)はサイズを小型化していることが特徴です。
作動距離(WD:ワーキングディスタンス)は0~250mm(φ1deg時)となっております。

お客様の中には、超小型チルトセンサ(オートコリメータ)を軸出し用途で500mm程度の
長距離でご使用いただいている事例もございます。

他にも作動距離が長い物をご希望されるお客様のお声をいただくことが増えているため、
作動距離:1000mm以上、測定範囲:φ1deg(±30min、円形範囲)
Repeatability(分解能):1min程度の物を現在開発しております。

チルトセンサ'(オートコリメータ)_長距離測定

 

測定対象物から離れた場所に設置する必要があるなどで長作動距離測定に
ご興味がございましたら下記よりお問合わせください。

非接触で角度測定が可能な超小型チルトセンサ(オートコリメータ)は、複数台を組み合わせて
使用することで様々なアプリケーションに対応することが可能です。

例えば、超小型チルトセンサ(オートコリメータ)を対向する位置関係に設置し、
測定対象物の2面の角度を測定することで、瞬時に対象物の平行度を確認することができます。
オートコリメータで平行度測定

平行度測定など、角度や変位でテーマをお持ちのお客様がいらっしゃいましたら下記よりお問合わせください。

非接触で角度測定が可能な超小型チルトセンサ(オートコリメータ)は、複数台を組み合わせて
使用することもできます。

例えば、超小型チルトセンサ(オートコリメータ)を直行する位置関係に設置し、
測定対象物の2面の角度を測定することで、瞬時に対象物の直角度を確認することができます。

直角度の測定でテーマがおありでしたら下記よりお問合わせお待ちしております。

当社で扱っているオートコリメータは今までφ20deg(φ1,200min)という測定範囲が最大でした。
今回これをさらに上回る測定範囲φ30deg(φ1,800min)を非接触で測定可能な製品を*世界で初めて
開発に成功しました。

超広角チルトセンサ(オートコリメータ)

 

 

 

 

 

*2021年12月現在、オートコリメータ方式において 当社調べ

用途は
スマートフォン用のカメラ。
なかでもペリスコープカメラやフォルデッドカメラ、または潜望鏡カメラなどと呼称される
光学ズームならびに光学手振れ補正機能をもった駆動時の光学部品傾斜角度検査

ドローン用のカメラ。
カメラを動かすジンバル機構部の傾斜角度検査

LiDAR。
搭載されているMEMSミラーの傾斜角度検査

などを想定しております。

測定の様子は下記をご覧ください。
測定対象物(ミラー)を2軸のジンバルに設置、ジンバルの傾斜角度を測定して
おります。測定値はVGAモニタに表示。測定値を電圧で出力可能です。
(±5V=θ±15deg サンプリング 10kHz)

ご興味おありでしたら下記よりお問い合わせください。

超小型チルトセンサ用の処理ユニットGP-2000とPCをUSB⇔USB mini-Bケーブルで接続し、
付属の専用ソフトウェア「GP 2000 Paramset」を用いることで、スポット像の確認ができるように
なりました。 

実際のスポット像を確認することで、どのような状態のスポットを検出しているかがわかります。

この機能はGP-2000のソフトウェアVer1.01以上でサポートされています。

詳しくはお問い合わせください。

本装置は非接触で変位:Z、チルト:θX,θYを同時に測定可能な測定装置です。
特許取得の独自の測定技術により、変位とチルトを1ビームで同時測定が可能です。
※特許第5330114号

いままでオートコリメータと変位計の2台を組み合わせでおこなっていた
測定がこれ一台で同時測定が可能です。

装置への組み込みやハンドラ搭載ニーズにも対応するために小型化しました。

ご興味おありでしたら下記からお問い合わせください。

※2020/12/11 製品名称を超小型変位チルトモニタから超小型変位チルトセンサに変更いたしました。