0040_【開発中】ロングWDチルトセンサ0040_%E3%80%90%E9%96%8B%E7%99%BA%E4%B8%AD%E3%80%91%E3%83%AD%E3%83%B3%E3%82%B0WD%E3%83%81%E3%83%AB%E3%83%88%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%B5

当社が開発中のオートコリメータは、作動距離(WD)が1,000mm±150mmという優れた性能を有し、先進的な技術を駆使した製品です。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

光学系と信号処理部分の一体化により、この単一ソリューションでチルト(ΘX、ΘY)の同時高速測定(1,600回/秒)が可能となっています。
特筆すべきは、その長大な作動距離により、設置される装置の床面や天井に設置して対象物を検出することが可能な点です。この特性により、半導体ウェーハやハンドラーの角度をリアルタイムで監視し、製造プロセスの制御に重要な情報を提供します。

当社のオートコリメータは、高度な作動距離と同時に高速で精密な測定が可能なことから、半導体製造設備などの分野で信頼性の高いツールとして注目されています。また本ソリューションは設置も簡単にできる様考慮されております。

詳しくはこちらの動画をご覧ください。

合わせて下記資料もご参照ください。

【●ロングWDチルトセンサ資料】

アプリケーション事例も掲載しております。

【●半導体業界事例集】

 

オートコリメータ
本製品は信号処理部を筐体にした一体型光学センサです。測定値が光学センサ本体から出力されるため、場所も取らず設備設置への組込自由度が広がります。

例えば半導体ウェーハのハンドリング時のクラッシュ防止やウェーハの反りを監視すること等が可能となります。

従来の一体型チルトセンサ(KT-8000)と比較して今回開発した製品は小型に成功、測定スピードも1,600回/秒と高速測定を達成しました。

詳しくは下記資料をご参照ください。

【●一体型チルトセンサ資料】

当開発製品のほかにも半導体に関する検査装置、測定装置を多数開発中でございます。

アプリケーション事例を掲載しておりますので、ご参照ください。

【●半導体業界事例集】

オートコリメータは、光学機器の一種であり、主に光学系の調整や評価に利用される重要な装置です。
光学系の精密な調整や位置決めを行う際に必要とされる計測機器であり、高い精度を持って光学系の
特性を評価する役割を果たします。

この装置は、光学系の光軸や光路を正確に測定し、調整することで、望んだ条件下で光学系を適切に
機能させることが可能となります。特に、レンズや鏡などの光学素子の位置や角度を正確に調整する
ことで、光学系全体の性能を最適化することができます。

オートコリメータは古くから業界で標準とされてきた製品があります。
この製品は低輝度のハロゲンランプを使ったものでした。光源が低輝度のため、
装置に多くの光を取り込むには大口径なレンズが必要になります。
そのため、装置は巨大で重量なものとなります。

オートコリメータ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

当社のオートコリメータ(製品名:超小型チルトセンサ。型式:TM-2070))は高輝度の
レーザーダイオードを採用しているため、搭載しているレンズも小径で済みます。
また、従来のオートコリメータでは対応できなかった低反射の物、微小な物の測定も
可能になっております。

さらに、人の目に代わり、光をCMOSカメラで受光することにより、画像処理が可能となり、
測定データは数値で管理が可能です。

レーザオートコリメータ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

オートコリメータといえば巨大で重量のある装置のイメージをお持ちの方がいらっしゃいましたら
ぜひ一度当社の超小型チルトセンサ、TM-2070をご確認いただければと思います。

デモ機のご用意もございます。詳しくは下記からお問い合わせください。

光学オートコリメータ方式による非接触角度測定センサ。アナログチルトセンサでモーターの品質管理

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

今回はモーター測定用専用ソフトウェアを搭載し、
高速回転物の軸倒れ、面振れの測定が可能な
光学オートコリメータ方式による非接触角度測定センサの
アナログチルトセンサ(オートコリメータ)のご紹介です。

モーターの高速回転時にどの程度の面振れが発生する
かを測定する場合、変位計などを用いて対象物の変位
(高さ)を測定する手法がありますが、
この場合は面の高さを測定することで、面の振れ量の
測定はできますが、軸の倒れがどのように倒れているかは
測定ができません。

カツラオプトのアナログチルトセンサ(オートコリメータ)は対象物の角度を非接触で
高速に測定できるため、面の振れと軸の倒れの2つの要素を同時に
測定する事ができます。

センサは10Kサンプリングに対応しているので高速で回転する
モータなどの挙動を正確に測定することができます。

大量生産中のモーターの品質管理など
モーター関連でお困りの測定テーマなどがおありでしたら
こちらからお問い合わせください。

光学オートコリメータ方式による非接触角度測定センサでスピンドル測定

スピンドルモータが回転する際に発生する軸振れ(面振れ)及び回転軸の倒れ角度の測定を行います。
高速アナログセンサを内蔵しています。 モータを実際に使用する回転数で評価が可能です。

モーターなど連続回転物の測定でお困りの際は下記よりお問い合わせください。

OIS評価装置

スマートフォンに搭載される光学手ぶれ補正(OIS)アクチュエータの評価装置を販売してます。
アクチュエータメーカからカメラメーカ、スマホメーカに至る全ての評価シーンでご使用いただけます。
OISアクチュエータの評価に必要なほとんどの評価測定項目をサポートしています。

<特徴>
・ OIS量産工場で実績のある高速5次元センサ(MF-5550)を採用。変位、角度、位置を同時測定できます。
・ 3軸アクチュエータドライバを内蔵
・ ホール素子の測定、アクチュエータの抵抗測定も行えます。

<付属設備>
・ OISアクチュエータ固定治具も付属します。
「お客様はOISアクチュエータを準備いただく」だけで評価可能な装置をご提供します。

詳しい内容はお問い合わせください。