精密ステージのピッチング、ヨーイング、ローリング、鉛直変位

・課題

精密ステージや半導体製造装置において、高速・長ストローク移動時に発生するピッチング、ヨーイング、ローリング、および鉛直方向の変位は、製品品質を左右する重要な評価項目です。しかし、これらの数μm、数arcsecレベルの微小なずれは、従来の測定治具や複雑なセットアップでは、「手軽に・素早く評価すること」が困難でした。

・解決

HR-1100（ピッチング／ヨーイング）とSH-3100（ローリング／鉛直変位）の2台を組み合わせることで、非接触かつリアルタイムに、ステージ動作中の姿勢変化をまるごと可視化できます。

4軸の挙動を同時に計測

  ピッチング／ヨーイング／ローリング／鉛直変位を同時に計測

リアルタイム測定

移動中の「いつ、どこで、どれだけずれたか」をリアルタイムに特定これにより、ステージの性能向上や、トラブル対応の迅速化に貢献します。