SOLUTIONS

解決事例

位置決め

精密ステージのピッチング、ヨーイング、ローリング、鉛直変位

精密ステージのピッチング、ヨーイング、ローリング、鉛直変位
機械部品 変位計ステージ姿勢位置決め
レンズ圧入工程における圧入ヘッドとバレル保持部の平行度管理

レンズ圧入工程における圧入ヘッドとバレル保持部の平行度管理
機械部品 平行度光学部品カメラ変位計カメラモジュール姿勢位置決め
ロボットアームの残留振動検出

ロボットアームの残留振動検出
ロボット モニタリング変位計搬送姿勢位置決め光学検査ウェーハハンドラーロボット
精密ステージのピッチング、ヨーイング評価

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機械部品 搬送位置決め
チャッキング時の検査対象物のばらつき抑制

チャッキング時の検査対象物のばらつき抑制
ロボット オートフォーカス姿勢位置決め光学検査