開発の背景
超小型チルトセンサより分解能の高い測定器はないか？そんなお客様のご要望から開発いたしました。
当社史上最高分解能、1秒の壁を超えた超高分解能センサーの誕生で新たな測定の世界が始まります。
特長
1. 世界最高クラスの高分解能（0.1秒/0.5μrad）
2. プロセッサーとセンサー分離型で様々なアプリケーションに対応
3. 付属ソフトで簡単測定（for Windows)
製品情報
| 項目 | 高分解能チルトセンサ |
| 型式 | HR-1100 |
| 測定対象物 | 光学平面（反射率80%以上） |
| ワーキングディスタンス | 0～1000mm |
| 測定範囲*1 | ±10arcmin |
| Repeatability*2 | 0.1arcsec |
| Linearity*3 | ±0.1% of F.S.（±1.2arcsec相当） |
| 光源 | 660±10nm |
| ビーム径 | φ3mm |
| 出力更新レート | 30回/秒 |
| 外形寸法（突起部除く） | W80 D120 H30mm |
*1.円形範囲
*2.弊社標準サンプルをワーキングディスタンス50mm に設置し、静止状態で測定した時のばらつきの幅6σ。
*3.弊社標準サンプルをワーキングディスタンス50mm に設置し、チルトθY 原点でのチルトθX の測定およびチルトθX 原点でのチルトθY の測定時における理想直線に対する誤差を表します。測定対象物によって変化する場合があります。
HR-1100で直動軸を高精度に測定するためのポイント
CSP0237-1_GP－2000操作説明書未記載シリアルコマンド一覧_260707.pdf
製品資料
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