超小型チルトセンサ（レーザーオートコリメータ）などの光学傾斜センサでの半導体業界向けの
事例集をご紹介いたします。

●半導体事例集の資料は
こちら↓

【●半導体業界事例集】

事例内容に限らず、半導体製造工程で測定や、検査のテーマをお持ちの
お客様がいらっしゃいましたらお気軽にお問合わせください。

下記からご連絡お待ちいたしております。

本光学センサは対象物の位置（X-Y）を非接触、高精度に測定することが可能です。
X-Y方向の移動機構の測定、検査に最適な光学センサです。
レンズシフトやセンサーシフト方式の手ぶれ補正機能付きアクチュエータ検査にご採用いただいています。
仕様は下記をご参照ください。
※なお仕様および製品名などは変更になる場合がございます。

製品のお問合せなどございましたら、営業担当または下記よりお問い合わせください。

スマートフォンに搭載されるカメラモジュールの中で、センサーシフト方式の
OISはアクチュエータがX-Y軸に加えて回転方向にも補正軸を持っているのが特
徴です。

X-Y軸を変位計で、回転軸をオートコリメータで測定する手法もありますが、
測定するターゲットが複雑になるばかりか、システムをくみ上げる観点からする
とあまりシンプルな手法ではありません。

弊社ではX-Y軸の変位に加え、回転方向の測定が可能なセンサーを2020年8月に
販売を開始しました。
なお、Z方向の変位、チルトX、チルトYも同時に測定可能なため6軸同時測定が
可能です。

測定の様子は下記をご覧ください。

ご興味おありでしたら下記からコンタクトいただけますようお願いします。

1台のセンサで平行ビームの様々な特性を測定することができます。
コリメート光源の検査、調整用としてお使いいただけます。
測定項目は①強度分布②平行度③光軸角度等です。

この技術はDVDの時代に光学ピックアップのLD光測定ニーズが
きっかけでうまれたものでしたが、
今では自動運転などに使用されているLiDARの投光ビームを調整する
技術として展開しております。

LiDAR、平行ビームの調整でお困りの際、お問い合わせ下さい。

光通信デバイスに組込まれる光学部品、発光素子、受光素子のマウント精度を測定することができます。
さらに、付属する観察光学系を使えば、角度測定点を確認することも可能です。

微小光学部品のマウントでお困りの際はお問い合わせください。

レンズを組み立てる際光軸合わせは重要な調整項目です。
当社のチルトセンサ（光学オートコリメータ方式による非接触角度測定センサ）
を使えば組立時のレンズの角度を測定することができます。
（レンズのコバ面にレーザを照射、反射光から角度を測定など）
工程ごとにレンズの角度を確認、調整することで光軸傾きの無いレンズを
作ることができます。
調整対象：　群レンズ、レンズユニットなど

レンズ測定でお困りの際はお問い合わせください。

スマートフォンに搭載される光学手ぶれ補正（OIS)アクチュエータの評価装置を販売してます。
アクチュエータメーカからカメラメーカ、スマホメーカに至る全ての評価シーンでご使用いただけます。
OISアクチュエータの評価に必要なほとんどの評価測定項目をサポートしています。

＜特徴＞
・　OIS量産工場で実績のある高速5次元センサ（MF-5550）を採用。変位、角度、位置を同時測定できます。
・　3軸アクチュエータドライバを内蔵
・　ホール素子の測定、アクチュエータの抵抗測定も行えます。

＜付属設備＞
・　OISアクチュエータ固定治具も付属します。
「お客様はOISアクチュエータを準備いただく」だけで評価可能な装置をご提供します。

詳しい内容はお問い合わせください。