オートコリメーター

一体型チルトセンサ(小型Type)

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一体型チルトセンサ(小型Type)

開発の背景
複数台の測定器を使用していると、センサーヘッドとプロセッサーユニットの管理が煩雑、一体化した測定器ができないか?そんなお客様のご要望から開発いたしました。ご要望の多い測定範囲、ワーキングディスタンスの仕様を基に、プロセッサーを一体化、測定スピードも高速。装置に組み込み可能な小型サイズで開発いたしました。

特長
1. センサーとプロセッサー、一体型
2. 小型、装置や治具組み込みが可能
3. 高速測定(1.6K データ/s)

製品情報

項目 一体型チルトセンサ(小型Type)
型式 ST-3100
測定対象物 光学平面(反射率80%以上)
ワーキングディスタンス 0~200mm
測定範囲 ±54分※1
Repeatability※2 0.025分
Linearity※3 ±0.15% of F.S.
光源 660±10nm
ビーム径 φ1mm※4
出力更新レート 1,600回/秒
外形寸法(突起部除く) W65 D75 H34mm

※1. 円形範囲
※2. 弊社標準サンプルを静止状態で測定した16回平均のばらつきの幅(6σ)
※3. 弊社標準サンプルをW.D.140mm に設置しての測定時における理想直線に対する誤差を表します。測定対象物によって変化する場合があります。
※4. センサー射出直後での径(1/e²幅)

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