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解決事例

半導体ウェーハ投影（露光）レンズブロックの光軸調整

半導体ウェーハ投影（露光）レンズブロックの光軸調整
半導体ウェーハ投影（露光）レンズブロックの光軸調整
半導体ウェーハ投影（露光）レンズブロックの光軸調整

・課題

ウェーハ露光装置の、投影レンズブロックをばらつきなく構築する方法はないか?　

・解決

チルトセンサを使えば投影レンズブロックの光軸出し、フォトマスク、レンズの傾き測定が非接触で可能です。これによりタクトタイムの削減、ばらつきの改善に繋がります。

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