精密ステージのピッチング、ヨーイング評価

・課題

・露光機などの精密ステージでは、長ストローク移動時にわずかなピッチングやヨーイングでも許容されない。
　ステージのストローク動作に伴う微小な回転誤差を簡単に、かつ高精度に評価できる測定方法はないか？

・解決

・チルトセンサを使えば、測定距離にかかわらず正確で高精度な角度測定が容易に可能。
　ストロークさせたときのピッチング、ヨーイングの2軸を同時に非接触かつリアルタイムで測定が可能です。