SOLUTIONS

解決事例

ウェーハハンドラー

ロボットアームの残留振動検出

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ロボット モニタリング変位計搬送姿勢位置決め光学検査ウェーハハンドラーロボット
ウェーハハンドラーのスライダー部非接触経年劣化監視

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半導体 半導体ウェーハウェーハハンドラー
遠距離からの半導体ウェーハ、ハンドラー、キャリアーの姿勢非接触監視

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半導体 半導体ウェーハウェーハハンドラー