オートコリメーター

超広角チルトセンサ

  • 受注生産
超広角チルトセンサ

開発の背景
測定範囲±1度を大きく超える広角度の傾斜を測定できないか?そんなお客様のご要望から開発いたしました。
従来の広角度の測定は、3台の変位計を使用し、3点の高さを測定した上で角度換算する必要がありました。しかしこの方法では、3台の変位計とその設置スペース、対象物にある程度の大きさが必要であり、小さな対象物は測定できませんでした。当社はオートコリメーター法を用いた製品でこの問題を解決いたしました。
特長
1. 超広角測定範囲
2. 高速測定(10K サンプリング)
3. アナログ(±5V)測定データ出力

製品情報

項目 超広角チルトセンサ
型式 WT-2600 WT-2910
測定対象物 光学平面(反射率80%以上推奨)
ワーキングディスタンス 48±4mm 25±2mm
測定範囲 ±10度※1 ±15度※1
Repeatability 0.4分※2 0.4分※3
Linearity※4 ±3% of F.S.(±36分相当) ±2.5% of F.S.(±45分相当)
波長 / ビーム径 660±10nm / φ1mm
サンプリング 10,000回/秒
外形寸法(突起部除く) W160 D230 H60mm

※1. 円形範囲
※2. 弊社標準サンプルを48mm位置に設置して測定。弊社検査規定により、NI PCI-6221 AD ボードで25kSで1秒間取込後3000Hz(-3dB)のバタワースローパスフィルタを通した3σの値。

※3. 弊社標準サンプルを25mm位置に設置し、原点付近にて測定。弊社検査規定により、NI PCI-6221 AD ボードで25kSで1秒間取込後3000Hz(-3dB)のバタワースローパスフィルタを通した3σの値。
※4. 弊社標準サンプルをW.D.に設置しての測定時における理想直線に対する誤差を表します。測定対象物によって変化する場合があります。

製品資料

関連事例

製品についてのお問い合わせ

    お問い合わせ製品
    会社名
    担当者氏名
    担当者フリガナ
    電話番号
    メールアドレス
    お問い合わせ内容

    個人情報保護方針