開発の背景
スマートフォンのカメラモジュールのセンサーシフト方式のOISを1台で測定できないか？そんなお客様のご要望から開発いたしました。
センサーシフト方式のOISはアクチュエーターがX-Yに加えて回転方向にも補正軸を持っているのが特長です。高速5次元センサとオートコリメーターを用いて測定する方法もありますが、2台分の設置スペースが必要、センサ間の位置合わせが必要、管理が必要など問題がありました。そこで当社は5次元センサのオートコリメータ法（傾斜）、三角測量法（高さ）、ビジョンセンサー（ポジション）に加え、回転角度検出光学系を組み合わせた製品を開発することでこの問題を解決いたしました。
特長
1. 三角測量技術、位置測定技術、3軸角度測定技術を一つのセンサーに
2. 優れた繰り返し精度と高い精度のリニアリティ
3. 高い作業性を持つ幅広いワーキングディスタンス
製品情報
| 項目 | 高速6次元センサ | |||
| 型式 | MS-2000 | |||
| 測定対象物 | 専用ターゲット | |||
| ワーキングディスタンス | 90±0.5mm | |||
| 測定項目 | チルト（θX,θY） | 変位（Z） | 位置（X,Y） | 回転（θ） |
| 測定範囲 | ±60分※ | ±1mm | ±0.5mm | ±90分 |
| 光源 | 660±10nm | |||
| ビーム径 | φ3mm | |||
| 外形寸法 | W250 D150 H58mm | |||
※円形範囲
関連事例
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