開発の背景
オートコリメーター方式の傾斜測定に加え、変位測定を同時にできないか？そんなお客様のご要望から開発いたしました。
元々は、ハードディスクヘッドの浮上時に発生する傾きの測定を目的に開発されましたが、現在は、スマートフォンなどに搭載されるオートフォーカス（AF）アクチュエーターの測定で数多く採用されております。
特長
1. 変位と傾斜の同時測定【特許第5330114号】
2. 1ビームで一方向から変位、傾斜同時測定可能
3. 高速測定（10K サンプリング）
製品情報
| 項目 | 変位チルトセンサ | |||
| 型式 | VH-1100 | HT-8490N | ||
| 測定対象物 | 光学平面（反射率80%以上推奨） | |||
| ワーキングディスタンス | 60±0.5mm | 90±0.5mm | ||
| 測定項目 | チルト（θX,θY） | 変位（Z） | チルト（θX,θY） | 変位（Z） |
| 測定範囲 | ±60分※ | ±1.5mm | ±90分※ | ±4mm |
| サンプリング | 10,000回/秒 | |||
| 外形寸法（突起部除く） | W125 D150 H56mm | W155 D180 H56mm | ||
※円形範囲
関連事例
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