開発の背景
測定範囲±1度を大きく超える広角度の傾斜を測定できないか？そんなお客様のご要望から開発いたしました。
従来の広角度の測定は、3台の変位計を使用し、3点の高さを測定した上で角度換算する必要がありました。しかしこの方法では、3台の変位計とその設置スペース、対象物にある程度の大きさが必要であり、小さな対象物は測定できませんでした。当社はオートコリメーター法を用いた製品でこの問題を解決いたしました。
特長
1. 広角測定範囲
2. 高速測定（10K サンプリング）
3. アナログ（±5V）測定データ出力
製品情報
| 項目 | チルトセンサ（受注生産) | |
| 型式 | WT-0003 | |
| 測定対象物 | 光学平面（反射率80%以上推奨） | |
| ワーキングディスタンス*1 | 44±2mm | |
| 測定範囲*2 | ±5deg（F.S.＝10deg） | |
| Repeatability*3 | 0.5arcmin | |
| Linearity*4 | ±0.25% of F.S.（±1.5arcmin相当） | |
| 波長 / ビーム径*5 | 660±10nm / φ1mm | |
| サンプリング | 10,000回/秒 | |
| 外形寸法（突起部除く） | W176×D165×H50mm | |
※1. センサ端鏡筒からの距離。筐体にレンズ（6mm）が設置されているため、筐体からのW.D.は50mmとなります。
※2. 円形範囲
※3. 弊社標準サンプルをワーキングディスタンス位置に設置し、原点付近で静止状態で測定。弊社検査規定により、NI PCI-6221 AD ボードで25kS で1 秒間取込みした6σの値。
※4. 弊社標準サンプル測定時における理想直線に対する誤差を表します。測定対象物によって変化する場合があります。
※5. W.D.位置での径。
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操作説明書
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ソフトウェア
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外観図
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