概要
・変位チルトセンサは、光学センサと信号/画像処理ユニットで構成されています。
・1ビームでチルトと変位を同時に測定できる画期的な光学センサです。
特長
・チルト(θx,θy)、変位(Z)を同時測定。
・斜入射タイプ(HT-8000シリーズ)と垂直入射タイプ(HT-7160)をラインナップし、
測定の自由度を確保。
機能
・アナログ信号を「アナログ信号出力端子」より取り出し可能。(HT-8000シリーズ)
・「PC接続端子」よりパソコンへのデータ取り込みが可能。
・信号/画像処理ユニットに電流ドライバを内蔵することが可能。(オプション)
※アナログ信号出力との併用はできません。
製品ラインナップ
■PSD斜入射タイプ
PSD受光部を採用し高速データを測定可能。

■CCDカメラ垂直入射タイプ
Zの変位に影響を受けず常に同一ポイントを測定。

アプリケーション事例
・VCM動的特性検査装置
VCM動的特性を自動で検査することができます。
測定に必要なアイテム、および、豊富なパラメータを用意。
3姿勢治具に対応。(垂直、90度、180度で測定可能)
センサ仕様
*1 弊社標準対象物を基準距離にて平均回数を1回で測定した場合の値。
*2 弊社標準対象物を基準距離にて平均回数を20回で測定した場合の値。
*3 測定平均回数を1回に設定した場合の値。
※被検面の表面状態(粗さ等)が分解能に影響します。
※専用処理ユニットが付属します。







































