チルト機構
チルト機構は架台にセンサを固定する治具です。3箇所のネジでセンサの取り付け角度の微調整が可能です。ご使用のチルトセンサに応じて、最適なシャフトクランプの長さが異なります。
角度調整をした状態を確実に保持するために、固定ネジがついております。また、シャフトクランプは交換が可能です。
| センサ型番 | 対応チルト機構 | 変換プレート型番※2 | ||
|---|---|---|---|---|
| 型番 | シャフトクランプ長 | 傾斜角※1 | ||
| KT/KB-1500 | TO-7850 | 139mm | - | - |
| KT/KB/KI-2000 | TO-7840 | 104mm | - | - |
| KT/KB/KI-3000(±20〜±60分) | TO-7894 | 119mm | 1.5度 | - |
| KT/KB/KI-3000(±110〜±150分) | TO-7895 | 117mm | 3.0度 | - |
| KT/KB/KI-6000(±20〜±60分) | TO-7894 | 119mm | 1.5度 | - |
| KT/KB/KI-6000(±110〜±150分) | TO-7895 | 117mm | 3.0度 | - |
| KT/KB/KI-7000 | TO-7860 | 139mm | - | - |
| KT/KB/KI-8000 | TO-7840 | 104mm | - | - |
| RT/RB-2000 | - | - | ||
| RB-3000 | TO-7830 | 84mm | - | - |
| KS-2000 | - | - | ||
| KS-8000(±20〜±60分) | TO-7894 | 119mm | 1.5度 | - |
| KS-8000(±110〜±150分) | TO-7895 | 117mm | 3.0度 | - |
| KL-2000 | TO-7830 | 84mm | - | - |
| NTシリーズ | TO-7815 | 64mm | - | - |
| ATシリーズ | - | - | ||
| KHシリーズ(拡散反射測定) | TO-7830 | 84mm | - | TO-7502 |
| KHシリーズ(正反射測定) | TO-7870 | 124mm | - | TO-7503 |
| HT-7160 | TO-7835 | 96.5mm | - | - |
| HT-8000 | TO-7833 | 86.5mm | - | - |
| SDシリーズ | TO-7835 | 96.5mm | - | - |
| DTシリーズ | TO-7710 | 100mm | - | - |
※1.傾斜角:対ゴースト用チルトセンサは構造上、基準面に対し斜めに設置します。そのため、シャフトクランプに傾斜がついてます。
※2.プレート:センサ(KHシリーズ)とチルト機構の間に取り付けるアダプタプレートです。
記載の無いシャフトクランプ長さは特注品として対応いたします。
架台
・ベース板とシャフトを組み合わせて使用
・ベース板にはタップ穴が開いており、治具の設置が可能
| センサ型番 | 対応架台 型番 | 規格 |
|---|---|---|
| チルトセンサ全機種 | TO-7210 | 200mm×264mm |
| DTシリーズ | TO-7310 | 300mm×390mm |

モニタ
ケーブル
ACアダプタ
光学部品
[チルト校正用]クサビガラス FH-1200 Series
・チルトセンサ(KTシリーズ)の校正に使用します。
・チルトセンサのビームを2点の反射光で返します。
| 型番 | 角度 | 型番 | 角度 |
|---|---|---|---|
| FH-1205 | 5分 | FH-1225 | 30分 |
| FH-1210 | 7.5分 | FH-1230 | 45分 |
| FH-1212 | 10分 | FH-1235 | 60分 |
| FH-1215 | 15分 | FH-1240 | 110分 |
| FH-1220 | 20分 | FH-1245 | 150分 |
[チルト基準出し用]オプティカルパラレル FH-1010
・チルトセンサの基準出しに使用します。
・上下面の平行度を高めたミラーです。
サイズ:φ25x10mm 平行度:±10秒
反射率:80%以上
[VCM測定用]ターゲットミラー FH-2300 Series
・FH-2303(ミラーのみ)
・HT-7160専用
・正反射面と拡散反射面を持ち、正反射面でチルト測定、
拡散反射面で変位測定が可能です。
・FH-2306(ミラー[FH-2303] + ダミーバレル)
・HT-7160専用
・ダミーバレルについては、VCMのサンプルおよび図面の提出と許容重量の規格が必要です。
・FH-2304(ミラーのみ)
・KT、AT、HT-8000、MF-1080用
・チルトおよび変位チルトを測定するためのミラーです。
・FH-2307(ミラー[FH-2304]+ダミーバレル)
・KT、AT、HT-8000、MF-1080用
・ダミーバレルについては、VCMのサンプルおよび図面の提出と許容重量の規格が必要です。
・FH-2305(ミラーのみ)
・KT、AT、HT-8000、MF-1080
・静電気密着法を使用し、測定物に密着、VCMの上、下、横向きを3姿勢測定が可能です。
サイズ全種共通:φ3x0.3mm
その他光学部品
多種多様な光学部品のご用意が可能です。
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| プリズム | ガラスディスク | ガラス治具 |
3ビームアダプタ
トリプルビームアダプタFH-6110
チルトセンサから射出されるビームを分岐させて3本のビームを射出します。
同時に3点の測定ができるようになります。
また、測定対象物に合わせて取り付け方向を90°変えることもできます。
トラバースユニットの測定にスピンドル傾き、シャフト傾きを同時に測定、調整が可能になります。
数値化ユニット
〔IP-8010〕/〔IP-8020〕
スタンダードモデル。
チルトセンサーからの信号を数値化し、モニター上に表示します。判定機能があり、OK/NG判定が可能です。
パソコンと接続し、判定条件や表示パラメータを設定します。判定結果を表計算ソフトに出力することも可能です。
背面パネルにI/Oポートを有するモデル〔IP-8020〕もございます。
〔IP-8130A〕
電流駆動ドライバーを内蔵したモデル。ACT検査装置としてKS8000に組み込まれます。
最大200mAまで駆動することが可能です。
〔IP-8510〕/〔IP-8520〕
ズーム機能付き数値化ユニットです。ズーム開始範囲やズーム倍率を設定することが可能です。
タッチパネルよりパラメータを設定することが可能で、パソコンに接続しなくても、編集が可能です。
背面パネルにI/Oポートを有するモデル〔IP-8520〕もございます。
〔IP-3230〕
マルチビームに対応しており、2点間の傾きを測定することで、基準点に対する調整が可能です。
AC/DC計測機能もあり、回転体の傾き計測も可能です。
| IP-8010 | IP-8020 | IP-8130A | IP8510 | IP-3230 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| パターン表示・設定 | ● | |||||
| OK/NG判定 | ● | |||||
| I/Oポート | −−− | ● | −−− | −−− | ● | |
| ACTドライバー | −−− | −−− | ● | −−− | −−− | |
| シングル ビーム |
輝度ピーク計測 | −−− | −−− | −−− | ● | −−− |
| 重心計測 | ● | |||||
| データ転送レート | 30データ/秒 | 10データ/秒 | ||||
| マルチビーム計測 | −−− | −−− | −−− | −−− | ● | |
| スピンドル計測 | −−− | −−− | −−− | −−− | ● | |
| ビデオ出力 | BNC出力 | |||||
| 画面解像度 | 512ドット(H)×480ライン(V) | 512ドット(H)x440ライン(V) | ||||
| 本体寸法 | 120x80x40(mm) | 140x120x50(mm) | 135x143x66(mm) | 220x230×60(mm) | ||
| 本体重量 | 350g | 450g | 800g | 1,300g | ||
| 消費電流(力) | 最大300mA | 12W | ||||
| 動作温度 | 0〜40℃(結露なきこと) | |||||
| 電源 | AC100〜240V 50〜60Hz | |||||
| 付属品 | ACアダプター 通信ケーブル コントロールソフト | ACアダプター 通信ケーブル コントロールソフト I/Oポート I/Oケーブル | ACアダプタ 通信ケーブル コントロールソフト | 電源ケーブル 通信ケーブル コントロールソフト | ||


















































