開発の背景
測定範囲±1度を大きく超える広角度の傾斜を測定する測定器ができないか？そんなお客様のご要望から開発した超広角チルトセンサ。この製品をセンサーヘッドとプロセッサーユニットを一体化。装置組み込みを簡単にして、使いやすい製品を開発いたしました。
特長
1. センサーとプロセッサー、一体型
2. 傾斜測定範囲±5度、高速測定（1.6K データ/s）
3. 装置や治具組み込みが可能
製品情報
| 項目 | 一体型チルトセンサ（広角Type）（受注生産） |
| 型式 | ST-0001 |
| 測定対象物 | 光学平面（反射率80%以上推奨） |
| ワーキングディスタンス*1 | 44±2mm |
| 測定範囲*2 | ±5deg |
| Repeatability*3 | 0.04arcmin |
| Linearity*4 | ±0.25% of F.S. |
| 光源 | 658±10nm |
| ビーム径*5 | φ1mm |
| 出力更新レート | 1,600回/秒 |
| 外形寸法（突起部除く） | W150 D180 H56mm |
＊1.センサー端に6mmの鏡筒が設置されている為、センサ端からのワーキングディスタンスは50±2mmとなります。
＊2.円形範囲
＊3.弊社標準サンプルをW.D.44mmに設置し、原点付近で静止状態で測定した値のばらつきの幅6σ。
＊4.弊社標準サンプル測定時における理想直線に対する誤差を表します。測定対象物によって変化する場合があります。
＊5.W.D.44mmでの径（1/e²幅）
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操作説明書
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一体型チルトセンサ（広角Type） | 操作説明書
ソフトウェア
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外観図
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