開発の背景
高速動作する対象物の傾斜を測定したい。サンプリングが30回/秒程度のものでは測定速度が間にあわない。もっと速い測定器ができないか？そんなお客様のご要望から開発いたしました。
受光デバイスをカメラではなく、フォトディテクターを採用し、10K サンプリングを達成。スマートフォンカメラモジュールアクチュエーターの動作中測定、レーザープロジェクターの高速振動中のVCM測定など、様々な高速駆動する傾斜測定を可能にしました。
特長
1. 高速測定（10K サンプリング）
2. アナログ（±5V）測定データ出力
3. コンパクト設計、片手サイズ
製品情報
| 項目 | 高速チルトセンサ |
| 型式 | AT-2060 |
| 測定対象物 | 光学平面（反射率80%以上推奨） |
| ワーキングディスタンス※1 | 150±10mm |
| 測定範囲 | ±60分※2 |
| Repeatability※3 | 0.024分 |
| Linearity※4 | ±0.17% of F.S. |
| 光源 | 658±10nm |
| ビーム径 | φ1mm |
| サンプリング | 10,000回/秒 |
| 外形寸法（突起部除く） | W100 D150 H56mm |
※1. センサー端面からの距離。 仕様を満たす距離を示します。
※2. 円形範囲
※3. 弊社標準サンプルを150mm 位置に設置して測定。弊社検査規定により、NI PCI-6221 ADボードで25kSで1 秒間取込後、3000Hz(-3db)のバタワースローパスフィルタを通した3σの値。（アナログ）
※4. 弊社標準サンプル測定時における理想直線に対する誤差を表します。測定対象物によって変化する場合があります。測定可能距離以内で、チルト(θX, θY)±48 分(円形範囲)以内の範囲の値。
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