
・ レーザーを光源に採用したオートコリメータです。基準面に対する角度測定が1ビームで測定できます。
・ 測定距離(ワーキングディスタンス)の違いが測定値に影響しません。
・ ガラス、レンズをはじめ樹脂製品等低反射率部品の角度測定が可能です。
実現可能な仕様
・ 測定分解能 : 2.6秒(0.0007度)~
・ 測定レンジ : ~±5度
・ 測定距離 : ~1400㎜
・ データ出力回数 : ~10,000回/秒サンプリングに対応
・ 寸法 : 150×100×56㎜~
・ 波長 : 405(青)・530(緑)・658(赤)・785(赤外)・850・904・980nmなど
・ ビーム径 : φ300um~
・ その他 :受光部を2視野(粗、細)搭載、射出ビームを2波長搭載する等
以上の仕様からご要望に合わせた製品を作製します。
また、この範囲外の仕様も特注対応します。
(例えばビーム径を可変可能にするなど)
詳しくはお問い合わせください。
【測定原理】
光源(LD)より射出した光はコリメータレンズ1により平行光となり、測定対象物(鏡面)に当たります。
測定対象物に当たった光は反射し、チルトセンサ(オートコリメータ)内に返ります。
返った光はコリメータレンズ2により集光され、受光部上に焦点を結びます。
このとき、測定対象物がθ(度)傾いている場合、反射光は2θの角度でチルトセンサ(オートコリメータ)に戻ります。コリメータレンズの焦点距離をfとすると、スポットの移動距離Yは次のようにあらわされます。
Y=f・tan2θ=2fφ (θ:Deg φ:rad)
チルトセンサ(オートコリメータ)では、このYを測定することで測定対象物の角度を算出しています。