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0003_半導体製造装置の平行度測定

半導体設備角度調整センサ

半導体設備角度測定センサ、光学オートコリメータ方式による非接触角度測定

チップマウンタ等のハンドラは基準面(ステージ面)と平行である必要が有ります。
今までダイヤルゲージや感圧紙を使い長時間かけて調整をしていましたが、
当社の平行度チルトセンサ(光学オートコリメータ方式による非接触角度測定センサ)
を使い上下両面の角度を同時測定することで作業時間を大幅に短縮することができます。
使用方法は簡単、ステージとハンドラの隙間に本センサを挿入するだけで測定が可能です。
また、今までは不可能であった平行度の数値管理ができます。

測定の様子は下記をご覧ください。

詳細は下記よりお問い合わせください。