トピックス・事例

  • 角度
  • その他の対象物

0006_光通信デバイスのチルト測定

光通信デバイスのチルト測定

光通信デバイスに組込まれる光学部品、発光素子、受光素子のマウント精度を測定することができます。
さらに、付属する観察光学系を使えば、角度測定点を確認することも可能です。

微小光学部品のマウントでお困りの際はお問い合わせください。

  • 収差
  • 収差・ビーム測定

0007_ビームスポットの測定と光軸上、光軸外の収差測定

 

ビームスポットの測定

微小に絞られたレーザービームスポットを拡大して測定を行います。
ビームプロファイルを測定し、ビーム径、コマ・球面などの収差や、非点格差の測定ができます。
光学センサの画像処理ユニットを組み合わせて、ご提供します。
治具の作製もご相談ください。

実現例:DVD,BluRayの光ピックアップのスポット評価、レーザプリンタのビーム評価

ビームスポットの測定装置

ビームスポットの強度分布を測定し、そのデータから各種収差量の測定を行います。

測定データは波面解析装置との相関性があり、同等な性能を有しています。
また、波面解析装置に対し測定再現性、短時間測定の点で優れています。

光軸外の収差測定技術も開発中です。スマホ用のカメラレンズ等の軸外収差測定が可能となります。

収差測定でお困りの際お問い合わせください。

  • 角度
  • その他の対象物

0009_重力に対する傾き測定

絶対水準に対する角度測定

絶対水準に対する傾きを測定。構造物が垂直に建っているか、規定の角度に装置が
設置されているか等重力に対する様々な角度を測定することができます。
垂直度の定量測定にご使用いただけます。

鉛直方向に対する傾きを高精度に測定できます。

  • 角度
  • その他の対象物

0010_開発中_ステージの3軸傾き測定

ステージの評価測定

ステージのピッチング、ヨーイング、ローリングの3軸傾きを1ビームで測定することができます。
直動ステージやスライド機構が移動する際の精度を定量解析できます。

  • 角度
  • モータ

0013_スピンドルモータの振れ・軸倒れ測定

0013_スピンドル_

スピンドルモータが回転する際に発生する軸振れ(面振れ)及び回転軸の倒れ角度の測定を行います。
高速アナログセンサを内蔵しています。 モータを実際に使用する回転数で評価が可能です。

モーターなど連続回転物の測定でお困りの際は下記よりお問い合わせください。

  • その他
  • その他の対象物

0018_ローラの隙間測定

ローラー測定装置

研磨された2つローラの狭い隙間測定が可能な光学センサを開発しました。
数百um~の隙間を非接触、高精度で測定できます。

 

  • 角度・変位
  • その他の対象物

0019_開発中_積層チップの変位チルト測定

積層チップ変位チルト測定

積層された半導体間の高さの違い、相対傾きを瞬時に測定することができます。
変位と角度を同時に測定が可能です。 積層チップの検査に加え調整にもお使いいただけます。

  • 角度
  • カメラ
  • モータ
  • 収差・ビーム測定
  • その他の対象物

0016_チルトセンサ

チルトセンサ

・ レーザーを光源に採用したオートコリメータです。基準面に対する角度測定が
  1ビームで測定できます。
・ 測定距離(ワーキングディスタンス)の違いが測定値に影響しません。
・ ガラス、レンズをはじめ樹脂製品等低反射率部品の角度測定が可能です。

実現可能な仕様
・ 測定分解能 : 2.6秒(0.0007度)~
・ 測定レンジ : ~±5度
・ 測定距離 : ~1400㎜
・ データ出力回数 : ~10,000回/秒サンプリングに対応
・ 寸法 : 150×100×56㎜~
・ 波長 : 405(青)・530(緑)・658(赤)・785(赤外)・850・904・980nmなど
・ ビーム径 : φ300um~
・ その他 :受光部を2視野(粗、細)搭載、射出ビームを2波長搭載する等

以上の仕様からご要望に合わせた製品を作製します。
また、この範囲外の仕様も特注対応します。

(例えばビーム径を可変可能にするなど)

詳しくはお問い合わせください。

【測定原理】
チルトセンサ測定原理光源(LD)より射出した光はコリメータレンズ1により平行光となり、測定対象物(鏡面)に当たります。

チルトセンサ測定原理測定対象物に当たった光は反射し、チルトセンサ内に返ります。返った光はコリメータレンズ2により集光され、受光部上に焦点を結びます。

チルトセンサ測定原理このとき、測定対象物がθ(度)傾いている場合、反射光は2θの角度でチルトセンサに戻ります。コリメータレンズの焦点距離をfとすると、スポットの移動距離Yは次のようにあらわされます。
Y=f・tan2θ=2fφ (θ:Deg φ:rad)
チルトセンサでは、このYを測定することで測定対象物の角度を算出しています。