本製品は作動距離（WD）が1,000mm±150mmという優れた性能を有したレーザーオートコリメータです。
（また、最大10mのワーキングディスタンスの製品のご紹介も可能です。）

光学系と信号処理部分の一体化により、この単一ソリューションでチルト（ΘX、ΘY）の同時高速測定（1,600回/秒）が可能となっています。
特筆すべきは、その長大な作動距離により、設置される装置の床面や天井に設置して角度測定が可能な点です。この特性により、装置内への設置はもちろん長距離移動機構、長距離センシングデバイスの評価装置の検査、調整が可能です。

また本ソリューションは設置も簡単にできる様考慮されております。

詳しくはこちらの動画をご覧ください。

合わせて下記資料もご参照ください。

【●ロングWDチルトセンサ資料】

アプリケーション事例も掲載しております。

【●半導体業界事例集】

本製品は信号処理部を筐体に内蔵した一体型光学センサです。測定値が光学センサ本体から出力されるため、場所も取らず設備設置の自由度が広がります。

例えば半導体ウェーハのハンドリング時のクラッシュ防止やウェーハの反りを監視すること等が可能となります。

従来の一体型チルトセンサと比較して今回開発した製品は小型化に成功、測定スピードも1,600回/秒と高速測定を達成しました。

詳しくは下記資料をご参照ください。

【●一体型チルトセンサ資料】

当開発製品のほかにも半導体に関する検査装置、測定装置を多数開発中でございます。

アプリケーション事例を掲載しておりますので、ご参照ください。

【●半導体業界事例集】

超小型チルトセンサ（レーザーオートコリメータ）などの光学傾斜センサでの半導体業界向けの
事例集をご紹介いたします。

●半導体事例集の資料は
こちら↓

【●半導体業界事例集】

事例内容に限らず、半導体製造工程で測定や、検査のテーマをお持ちの
お客様がいらっしゃいましたらお気軽にお問合わせください。

下記からご連絡お待ちいたしております。

オートコリメータは、光学機器の一種であり、主に光学系の調整や評価に利用可能なソリューションです。

このソリューションは、光学系の光軸や光路を正確に測定、調整することで、光学機器の最適化が可能となります。
機能させることが可能となります。特に、レンズやミラーなどの光学素子の位置や角度を正確に調整する
為に使われます。

オートコリメータは古くから光学業界で使われてきました。この製品は低輝度のハロゲンランプを使ったものでした。光源が低輝度のため装置に多くの光を取り込むには大口径なレンズが必要になります。そのため、装置は巨大で重量なものでした。
当社では光源に半導体レーザを、受光部に半導体センサを搭載することで小型、高感度、高速なオートコリメータを実現しました。

当社のオートコリメータ（製品名：超小型チルトセンサ。型式：TM-2070））は高輝度の
レーザーダイオードを採用し、小型の光学部品を採用しました。
従来のオートコリメータでは対応できなかった低反射の物、微小な物の測定も
可能になっております。

さらに、CMOSカメラで受光することにより、画像処理が可能となり、
測定データの数値管理が可能です。

オートコリメータが大きい、重いというイメージを払拭してください。
当社の超小型チルトセンサTM-2070をお試しください。
デモ機を準備してご連絡をお待ちしております。
詳しくは下記からお問い合わせください。

当社の超小型チルトセンサ（レーザ－オートコリメータ）はサイズを極限まで小型化してことが特徴です。
通常の作動距離（WD：ワーキングディスタンス）は0~110mm（±70分の範囲）となっております。

しかし110mmを超えるWDでもご使用いただける場合がございます。光軸出しなどの用途では500mm以上の
長作動距離でご使用いただいている事例もございます。

さらに作動距離が長い製品のご要望にお応えするためにロングWDチルトセンサ（オートコリメータ）も
作製しました。

離れた場所から測定する必要があるなどで長作動距離測定に
ご興味がございましたら下記よりお問合わせください。

非接触で角度測定が可能な超小型チルトセンサ（オートコリメータ）は、複数台を使用することで
様々なアプリケーションに対応することが可能です。

例えば、超小型チルトセンサ（オートコリメータ）を対向する位置関係に設置し、
測定対象物の２面の角度を測定することで、瞬時に対象物の平行度を確認することができます。

非接触高精度平行度測定などのテーマをお持ちのお客様がいらっしゃいましたら下記よりお問合わせください。

非接触で角度測定が可能な超小型チルトセンサ（オートコリメータ）は、複数台を組み合わせて
使用することで様々なアプリケーションに対応することが可能です。

例えば、超小型チルトセンサ（オートコリメータ）を直行する位置関係に設置し、
測定対象物の２面の角度を測定することで、瞬時に対象物の直角度を確認することができます。

非接触高精度直角度測定でお困りごとがございましたら下記よりお問合わせお待ちしております。

超小型チルトセンサ用の処理ユニットGP-2000とPCを接続し、付属の専用ソフトウェア「GP 2000 Paramset」を用いることで、
スポット像の確認ができるようになりました。　

実際のスポット像を確認することで、正常な状態で測定が行えているか確認する事が出来ます。

この機能はGP-2000のソフトウェアVer1.01以上でサポートされています。

詳しくはお問い合わせください。

本製品は半導体レーザーを搭載した光学オートコリメータ方式
による非接触角度測定センサです。

装置への組み込みやハンドラ搭載ニーズにも対応するために極
限まで小型化を行いました。

業界でも最小サイズの１機種である当社旧超小型チルトセンサ
（レーザーオートコリメータ）KT-7000シリーズ※1(以下写真)
に対しても25%の容積率という圧倒的に小型化され世界最小サ
イズ※2を実現しました。
※1：KT-7000シリーズ（KT-7060,KT-7030,KT-7015）は現在
販売を終了しております。
※2：レーザーオートコリメータにおいて、2020年10月当社調べ。

本計測センサは画像処理ユニットを付属しており、60fpsの
処理スピードで角度を測定、上位機器へのデータ出力が可能です。
データ用インターフェイスとしてRS-232C、I2Cを、
又DIOも装備し本計測センサ制御やOK/NG出力なども可能です。
PCはもちろんPLCとの接続も考慮されております。
本製品は発売を年末に予定しております。

詳細は下記よりお問い合わせください。

※2020/12/11　製品名称を超小型チルトモニタから超小型チルトセンサに変更いたしました。

スマートフォンに搭載されるカメラモジュールの中で、センサーシフト方式の
OISはアクチュエータがX-Y軸に加えて回転方向にも補正軸を持っているのが特
徴です。

X-Y軸を変位計で、回転軸をオートコリメータで測定する手法もありますが、
測定するターゲットが複雑になるばかりか、システムをくみ上げる観点からする
とあまりシンプルな手法ではありません。

弊社ではX-Y軸の変位に加え、回転方向の測定が可能なセンサーを2020年8月に
販売を開始しました。
なお、Z方向の変位、チルトX、チルトYも同時に測定可能なため6軸同時測定が
可能です。

測定の様子は下記をご覧ください。

ご興味おありでしたら下記からコンタクトいただけますようお願いします。