その他
| アプリケーション導入例 | 高精度メカニクス |
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■ステージのピッチング、ヨーイング測定
精度直動ステージのピッチング、ヨーイング等の測定が可能です。
AT-4000（アナログチルトセンサ）を使用することで、高速移動時に発生ピッチング、ヨーイングのダイナミックな測定が行えます。
■MEMSの精度確認
MEMSミラーの精度確認等にご使用いただけます。
AT-4000を使用することでMEMS稼動時の時系列データを測定することも可能です。
