製品説明
AMS（Aberration Measurement System）は、全く新しい収差解析方法です。
干渉計とは違い、ビームの強度分布画像から収差を解析するので、
干渉計でわずらわしかった干渉縞を出す作業が一切必要ありません。
被測定ビームを光学系に入力するだけで、簡単に収差量を求めることが可能です。
また、測定分解能・精度は干渉計と同等です。
簡単測定
オートフォーカスとオートポジション機能を有しています。
粗調整をマニュアルで行なった後は、システムが自動でフォーカス・ポジションの最適位置に位置決めし測定を開始します。フォーカスは高精度なピエゾアクチュエータを使用しているため、高精度な測定を実現しています。
非常に簡単な操作で測定が行なえるので、製造ライン上への導入も可能です。
調整装置への応用
光ピックアップの収差調整工程への導入が可能です。各3次収差量（コマ・アス・球面）のリアルタイム測定が可能です。また、グラフ表示を行なうので、3次収差の調整装置としてお使いいただけます。
高分解能測定
干渉計と同等以上の測定分解能・測定再現性を実現しました。
手軽に高分解能測定を行なうことが可能です。
安定した性能
長年光ピックアップのスポット測定装置を開発・生産してきたノウハウを集結したシステムは、安定した測定と再現性をご提供いたします。複数台ご使用いただいた場合でも、機差間のばらつきを最低限に抑えることが可能です。
